电子真空泵是一种利用电子脱附技术产生高真空的设备,其中涉及到了电子物理学、材料科学、电子技术、机械制造等多个学科领域。本文将对电子真空泵的原理、分类、特点、应用等方面进行详细介绍。
电子真空泵的原理
电子真空泵是利用电子的脱附技术将气体分子从表面排出,从而从系统中抽取气体,达到高真空状态。电子真空泵的工作原理主要包括三个过程:
1.脱附过程:利用加热或光照射特定的吸附剂,使其表面进入脱附状态,将吸附在吸附剂表面的气体分子脱离出去。
2.扩散过程:脱附气体分子进入扩散室,在扩散室的高真空环境中,气体分子不断碰撞扩散,从而达到更高的真空度。
3.抽气过程:在扩散室内的气体分子进入电子束管,在电子束的轰击下,将气体分子电离成为离子,离子受到电场力的作用,被定向加速到阴极板上,产生吸收和电化学反应,最终转化为分子或原子状态,进一步被抽出。