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电子真空泵的特点
1.高度真空:电子真空泵可以达到10^-10毫巴的高真空度,甚至可以达到10^-13毫巴的撞击真空度。
2.高速抽气:电子真空泵的抽气速度非常高,抽气速率可以达到500L/s以上。
3.无油无污染:电子真空泵没有泵油和机械运动部件,因此对被抽物体没有污染,也不需要更换油类。
4.可靠性高:电子真空泵的寿命长,使用寿命一般为10年以上。
5.操作简单:电子真空泵操作简单,且维护保养容易,可以大量减少维护成本。
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