电子真空泵的分类
电子真空泵的分类主要有以下几种:
1.阳极板式电子真空泵:其结构简单,工作可靠,易于维护。
2.电子束式电子真空泵:其抽气速度较快,泵的压缩比较高,无需机械部件,因此可以应用在对挥发性有机物或腐蚀性气体进行抽气。
3.离子泵式电子真空泵:其抽气速度较快,达到极高的真空度,但成本较高,且易受冷陷和磁陷的影响。
4.高温抽气式电子真空泵:其采用高温烧结吸附剂,通过基础材料热脱附或气体扩散来抽气,具有高速抽气、高温稳定等特点。
5.多级分子泵电子真空泵:其通过将分子泵和电子真空泵组合在一起,以实现更高的真空度和抽气速度。